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      廣東高新技術企業廠家

      專注于直線模組研發生產及自動化行業高性能解決方案

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      • 直線電機運動平臺
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      三軸高精密直線電機平臺

      • 一般環境使用
      • XYZ三軸高精密大理石直線電機平臺,采用無鐵芯直線電機和SP級交叉滾子導軌,全套雷尼紹光柵,檢測精度0.1um,多應用于晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光熔覆加工等。

      • 產品參數

        XYZ三軸行程:X500mm/Y500mm/Z200mm(可定制)
        重復定位精度:±0.001mm
        絕對定位精度:±0.004mm
        應用行業:晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光熔覆加工等;
        *絕對定位精度需通過軟件修正。

        Tips:絲桿模組行程超過750mm時,會產生螺桿偏擺,此時請將降低速度;最高速度是以伺服馬達最高轉速3000RPM以下為基準;馬達加減速設定為0.2s。

      • 注意:限于文件大小和數量限制,高清產品手冊PDF版及完整的產品3D模型STEP文件,請聯系我司業務人員獲取,給您帶來不便敬請諒解!

      直線電機運動平臺


      XYZ三軸高精密大理石直線電機平臺,采用無鐵芯直線電機和SP級交叉滾子導軌,全套雷尼紹光柵,檢測精度0.1um,多應用于晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光熔覆加工等;


      XYZ三軸行程:X500mm/Y500mm/Z200mm(可定制)

      重復定位精度:±0.001mm

      絕對定位精度:±0.004mm

      應用行業:晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光熔覆加工等;

      *絕對定位精度需通過軟件修正。

      *Z軸采用直線電機配恒力彈性裝置,保證Z軸斷電保護。


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