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精密運動平臺定做廠家
代工各類精密直線運動平臺、半導體及檢測運動平臺
代工各類精密直線運動平臺、半導體及檢測運動平臺
xy軸精密大理石直線電機定位平臺，采用無鐵芯直線電機和SP級交叉滾子導軌，全套雷尼紹光柵，檢測精度0.1um，多應用于晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光3D熔覆加工等各種高精密制造檢測。
重復定位精度：±0.001mm
絕對定位精度：±0.004mm
XYZ三軸行程：X500mm/Y500mm/Z200mm
非標定制產品，配置價格請咨詢！
*絕對定位精度需通過軟件修正。
Tips：絲桿模組行程超過750mm時，會產生螺桿偏擺，此時請將降低速度；最高速度是以伺服馬達最高轉速3000RPM以下為基準；馬達加減速設定為0.2s。
注意：限于文件大小和數量限制，高清產品手冊PDF版及完整的產品3D模型STEP文件，請聯系我司業務人員獲取，給您帶來不便敬請諒解！
XYZ三軸高精密大理石直線電機平臺，采用無鐵芯直線電機和SP級交叉滾子導軌，全套雷尼紹光柵，檢測精度0.1um，多應用于晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光熔覆加工等各種高精密制造檢測。
XYZ三軸行程：X500mm/Y500mm/Z200mm（客戶定制）
重復定位精度：±0.001mm
絕對定位精度：±0.004mm
應用行業：晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光3D熔覆加工等；
*絕對定位精度需通過軟件修正。
*Z軸采用直線電機配恒力彈性裝置，保證Z軸斷電保護。
